(1) Pre-PVD բուժում, ներառյալ իրերի մաքրումը և նախնական բուժումը:Մաքրման հատուկ մեթոդները ներառում են լվացող միջոցներով մաքրում, քիմիական լուծիչներով մաքրում, ուլտրաձայնային մաքրում և իոնային ռմբակոծման մաքրում:
(2) Տեղադրեք դրանք վառարանի մեջ, ներառյալ վակուումային խցիկի մաքրումը և հարմարանքները, ինչպես նաև իրերի և հարմարանքների տեղադրումը, գործարկումը և միացումը:
(3) Վակուումով, ընդհանուր առմամբ պոմպելով մինչև 6,6 Պա կամ ավելի, բացեք դիֆուզիոն պոմպի առջևը ավելի վաղ՝ վակուումային պոմպը պահպանելու և դիֆուզիոն պոմպը տաքացնելու համար:Նախնական տաքացումից հետո բարձր փականը բացվում է և դիֆուզիոն պոմպով մղվում է մինչև 6 x 10-3 Պա կիսաներքևի վակուում:
(4) Թխում, թխում իրերը ցանկալի ջերմաստիճանում։
(5) Իոնային ռմբակոծում, վակուումը սովորաբար 10 Պա-ից 10-1 Պա է, իոնային ռմբակոծման լարումը բացասական բարձր լարում է 200 Վ-ից մինչև 1 ԿՎ, իսկ հարձակման ժամանակը 15 րոպեից 30 րոպե է:
(6) Նախահալեցում, հոսանքի կարգավորում՝ նյութը նախապես հալելու համար, հոսանքի կարգավորում՝ երեսպատումը նախապես հալելու և գազազերծում 1 րոպե ~ 2 րոպե:Գոլորշիացնող նստվածք:Գոլորշիացման հոսանքը ճշգրտվում է ըստ պահանջի, մինչև ավարտվի ցանկալի նստեցման ժամանակը:Սառչելով, իրերը սառչում են որոշակի ջերմաստիճանի վակուումային խցիկում:
(7) Նյութերը հանելուց հետո վակուումային խցիկը փակվում է, վակուումը տարհանվում է մինչև l × l0-1Pa, և դիֆուզիոն պոմպը սառչում է մինչև թույլատրելի ջերմաստիճանը, մինչև սպասարկման պոմպը և հովացման ջուրը հնարավոր լինի անջատել: